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Taiko大晃真空泵BEH-1800

發(fā)布時(shí)間:2019.03.11

TAIKO螺桿式干式真空泵,是采用自主研發(fā)螺桿線性的干式真空泵,它低速轉(zhuǎn)動(dòng)連續(xù)排氣,真空度可達(dá)到10-1Pa,它可稱為是劃時(shí)代的干式真空泵。實(shí)現(xiàn)了極限真空度的極底泵浦轉(zhuǎn)速.從吸氣起到排氣采用非接觸單段壓縮,其特點(diǎn)是可以快速地排除空氣或煤氣中所含有的粉塵霧粒,大量用于半導(dǎo)體,液晶,太陽能電池,醫(yī)藥,化工等真空行業(yè)。單級(jí)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于保養(yǎng)和維修,在排除凝聚性氣體,腐蝕性氣體和反應(yīng)生成物的半導(dǎo)體工藝中以及在硅單晶制造的抽真空等領(lǐng)域也發(fā)揮著威力。

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日本Taiko大晃干式螺桿真空泵

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Taiko大晃真空泵BEH-1800簡(jiǎn)介

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Taiko大晃真空泵BEH-1800技術(shù)參數(shù)

Taiko大晃真空泵BEH-1800參數(shù)

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Taiko大晃真空泵BEH-1800用途:


SI硅拉晶、真空干燥、凍結(jié)干燥、回收溶劑、真空蒸餾、真空濃縮、真空爐、真空成型、真空浸透、PSA、脫氣、真空包裝、吸氣、真空洗滌機(jī) 、脫泡、半導(dǎo)體、FPD、太陽能板制造工藝



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